欢迎来到昆山新佑兴精密机械设备有限公司!联系我们 | 关于我们
咨询服务热线
13621543638
苏州洁净棚洁净室中的温湿度控制
日期:2022-02-03 14:29:35


苏州洁净棚洁净室中的温湿度控制

苏州洁净棚洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。


浏览更多 苏州洁净棚  的内容
PRECISION MECHANICAL DESIGN
联系人:张林涛
电话:13621543638
E-mail:157373681@qq.com
传真:0512-57111790
地址:江苏省昆山市洞庭湖北路578号